国家/地区 中国(7) 美国(4) 世界知识产权组织(4)
IPC部 C(6) B(4) H(4)
IPC大类 C01(5) H01(4) B01(2)
B82(2) C07(2) C23(2)
IPC小类 C01B(5) H01L(4) B01J(2)
B82Y(2) C07C(2) C23C(2)
IPC C01B031/04(4) B82Y040/00(2) C23C016/26(2)
H01L021/336(2) H01L021/768(2)
发明人 ZHU Y(11)
公开年 2012(11)
申请年 2012(9) 
专利权人 CHINESE ACAD.(2) INT BUSINESS.(2) UNIV PEKING(2) UNIV RICE WI.(2)