国家/地区 | 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 韩国(3) 美国(3) 中国(2) 台湾(2) |
IPC部 |
B(7)![]() |
IPC大类 |
B32(7)![]() |
IPC小类 |
B32B(7)
C23C(6)
C01B(5)
H01L(3) C23F(2) |
IPC |
B32B009/00(7)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2016(7)![]() |
申请年 | 2015(4) 2014(2) |
专利权人 |
TZENG Y, CHANG C, TZENG Y H
UEKUSA K, SHIMADA N, YAZAWA K, YAMADA T, HASEGAWA M, SHIMADA NAYUTA, YAZAWA KENJI, YAMADA TAKATOSHI, HASEGAWA MASATAKA, UEKUSA KAZUTERU
JOHNSON B Y, MAZUMDER P, SONI K K
TREOSSI E, SCIDA A, PALERMO V, KHAN M A, SCIDAE A