国家/地区 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 韩国(3) 美国(3) 中国(2) 台湾(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 B32(7)
IPC小类 B32B(7) C23C(6) C01B(5)
H01L(3) C23F(2)
IPC B32B009/00(7)
发明人
公开年 2016(7)
申请年 2015(4)  2014(2) 
专利权人