国家/地区 中国(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 B82(7)
IPC小类 B82Y(7) C23C(5) H01L(5)
C01B(4) C23F(3) B32B(2)
H01B(2)
IPC B82Y010/00(7)
发明人 XIAO L(2)
公开年 2012(3)
申请年 2012(2) 
专利权人

KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J