国家/地区 日本(13)
IPC部 B(13)
IPC大类 B01(13)
IPC小类 B01J(13)
IPC C01B032/15(13)
发明人 MATSUMOTO T(2)
公开年 2015(3) 2016(3) 2017(2) 2021(2)
申请年 2014(3)  2015(3)  2016(2)  2017(2) 
专利权人 TOKYO ELECTR.(2)