国家/地区 日本(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12) B01(6) H01(5)
B82(3) C23(3) C02(2)
IPC小类 C01B(12) B01J(5) B82Y(3)
C23C(3) H01L(3) B01D(2)
C02F(2) H01M(2)
IPC C01B032/15(12)
发明人 IMADA T(2) KIM H(2) NAITO K(2)
SUZUKI A(2)
公开年 2016(12)
申请年 2015(9)  2014(2) 
专利权人 KOREA INST E.(2) TOSHIBA KK(2)