| 国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(8)
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| IPC部 |
C(8)
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| IPC大类 |
C01(8)
B82(5)
C25(4)
H01(4) B01(2) C23(2) G01(2) |
| IPC小类 |
C01B(8)
B82Y(5)
C25B(4)
H01M(3) B01J(2) C23C(2) G01N(2) H01L(2) |
| IPC |
C01B032/16(8)
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| 发明人 |
JOUVRAY A(2)
LICHT S(2)
TEO K B K(2)
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| 公开年 | 2021(3) 2022(2) |
| 申请年 | 2021(3) 2014(2) 2020(2) |
| 专利权人 | AIXTRON SE(2) C2CNT LLC(2) |
JAKOBSEN M A, DATSYUK V, LIEHR M
MATHARU J, THOMAS S, TEO K B K, JOUVRAY A, JOUBEUREI A, MATARU J, TOMASEU S
RIPPINGTON D E, JOUVRAY A, RUPESINGHE N L, TEO K, TEO K B K, RUPESINGHE N
