国家/地区 日本(9)
IPC部 B(9) C(9) H(7)
A(3)
IPC大类 C01(9) B82(8) H01(7)
B32(3) A61(2) B01(2)
IPC小类 C01B(9)
IPC C01B032/182(9)
发明人 KOKUNI T(2) OGUNI T(2) TODORIKI H(2)
TODOROKI H(2)
公开年 2012(9)
申请年 2012(6)  2011(3) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(3)