| 国家/地区 | 中国(6) 世界知识产权组织(4) 日本(3) 印度(2) 韩国(2) |
| IPC部 |
B(13)
|
| IPC大类 |
C01(13)
|
| IPC小类 |
C01B(13)
C23C(13)
B82Y(5)
B22F(3) B05D(2) B32B(2) C08K(2) H01L(2) |
| IPC |
C01B032/186(13)
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| 发明人 |
IFUKU R(2)
MATSUMOTO T(2)
RYOTA I(2)
TAKASHI M(2) |
| 公开年 | 2020(5) 2019(4) 2021(4) |
| 申请年 |
2019(13)
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| 专利权人 | TOKYO ELECTR.(2) |
OKIKAWA Y, YAMADA T, HASEGAWA M
DAI D, YANG K, LIN Z, JIANG N, MA H
SINGLA R, KOTTANTHARAYIL A
IFUKU R, MATSUMOTO T, FUJIO A, SAITO K, RYOTA I, TAKASHI M, AKIRA F, KOUSAKU S
GALIOTIS C, BAGLIONI P, ANAGNOSTOPOULOS G, PASTORE CARBONE M G, POGGI G, PAPADIMITRIOU K, PATERAKIS G, KOTSIDI M, GORGOLIS G
