国家/地区 美国(5) 中国(4) 印度(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(13) B(7) H(5)
IPC大类 C01(13) H01(5) B82(4)
B01(2)
IPC小类 C01B(13)
IPC C01B032/23(13)
发明人 CAO M(2) GAO C(2) LIU Y(2)
OGUNI T(2) XU Z(2)
公开年 2021(13)
申请年 2021(13)
专利权人 SEMICONDUCTO.(2) UNIV ZHEJIAN.(2)