| 国家/地区 | 中国(12) 美国(3) |
| IPC部 |
B(13)
|
| IPC大类 |
C23(13)
B82(5)
H01(5)
B22(3) C22(3) B01(2) B05(2) C01(2) C08(2) C25(2) |
| IPC小类 |
C23C(13)
B82Y(5)
B22F(3)
C22C(3) B01J(2) B05D(2) C01B(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C014/35(13)
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| 发明人 | JIA J(2) WANG Z(2) |
| 公开年 | 2021(10) 2022(3) |
| 申请年 |
2021(13)
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| 专利权人 |
WANG C, MENG D, FU Z, TANG Y, ZHU L, TIAN B, SHE D, LI W, YUE W, LIN N, KANG J
CHENG H, ZHONG S, MO H, ZENG Y, WANG Z, WANG Y, LIU Y, HU M, WU H, CAO Y
NAKAJIMA A, TSUNOYAMA H, UNO M, GUNJI H, ANDO T, TSUKAMOTO K, TONA M, HIRATA N
MA Z, ZHAN X, WANG Z, ZHAO Z, ZHU Y, CHEN J, LIU X, CHEN H
