国家/地区 中国(12) 美国(3)
IPC部 B(13)
IPC大类 C23(13) B82(5) H01(5)
B22(3) C22(3) B01(2)
B05(2) C01(2) C08(2)
C25(2)
IPC小类 C23C(13) B82Y(5) B22F(3)
C22C(3) B01J(2) B05D(2)
C01B(2) H01L(2)
IPC C23C014/35(13)
发明人 JIA J(2) WANG Z(2)
公开年 2021(10) 2022(3)
申请年 2021(13)
专利权人