国家/地区 中国(6) 美国(4) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8)
IPC小类 C23C(8) B82Y(5) C01B(4)
H01L(3)
IPC C23C016/01(8)
发明人 LIU J(2)
公开年 2013(4) 2012(3)
申请年 2012(8)
专利权人 UNIV XIDIAN(2)