国家/地区 美国(5)
IPC部 C(5) H(5) B(4)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5) C23C(5) H01G(5)
B82Y(4) H01L(4)
IPC C01B032/186(5)
发明人 MAAROUF A A(5)
公开年 2023(2)
申请年 2022(3) 
专利权人 UNIV IMAM AB.(5)