国家/地区 | 中国(5) 美国(5) 世界知识产权组织(5) 日本(4) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
B(8)![]() |
IPC大类 |
C23(8)![]() |
IPC小类 |
C23C(8)
C01B(6)
B01J(3)
B08B(2) B32B(2) B82Y(2) C30B(2) H01L(2) |
IPC |
C23C016/02(8)![]() |
发明人 | ZHANG X(2) |
公开年 | 2014(4) 2015(3) |
申请年 |
2014(8)![]() |
专利权人 |
KAMISHIMA M, WATANABE H, NAGAMUNE T, KATADA A
STRUDWICK A, SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, WEBER N, BINDER A, MULLEN K, STRUDWICK A J, WEBER N E
JIN H, LIU Z, QI X, PENG P, YANG H, ZHANG Z, ZHANG W, ZHANG X, DENG K
VLASSIOUK I V, IVANOV I N, DATSKOS P G
CHEN Y, LI J, LI Y, ZHANG X, LEE Y
GARCES N, WHEELER V D, GASKILL D K, EDDY C R, JERNIGAN G G