国家/地区 中国(5) 美国(5) 世界知识产权组织(5) 日本(4) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(8)
IPC大类 C23(8)
IPC小类 C23C(8) C01B(6) B01J(3)
B08B(2) B32B(2) B82Y(2)
C30B(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(8)
发明人 ZHANG X(2)
公开年 2014(4) 2015(3)
申请年 2014(8)
专利权人