| 国家/地区 | 美国(5) 中国(2) 日本(2) 韩国(2) 台湾(2) |
| IPC部 |
B(8)
|
| IPC大类 |
C23(8)
C01(7)
B01(5)
H01(4) B82(3) C09(2) C30(2) |
| IPC小类 |
C23C(8)
C01B(7)
B01J(5)
B82Y(3) H01L(3) C09K(2) C30B(2) |
| IPC |
C23C016/02(8)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2016(8)
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| 申请年 | 2015(4) 2016(3) |
| 专利权人 |
CHOUBAK S, LEVESQUE P, GAGNON P, MARTEL R, DESJARDINS P
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
CAFFIO M, MARQUORDT C, ARVIDSEN J H, HAUPT R A B
TZENG Y, CHANG C, TZENG Y H
WU M Y, HSIEH C, PENG C, WU Y, XIE C, HSIEH C Y, PENG C S
KAMISHIMA M, WATANABE H, NAGAMUNE T, KATADA A
