国家/地区 美国(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7) C23(7) B82(6)
B01(2)
IPC小类 C23C(7) B82Y(6) C01B(6)
IPC C23C016/02(7)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3)
公开年 2021(7)
申请年 2020(4)  2021(3) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4)