国家/地区 中国(3) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 C23(7) B82(5) H01(5)
C01(4) B01(2)
IPC小类 C23C(7) B82Y(5) C01B(4)
H01L(4) B01J(2) H01G(2)
IPC C23C016/02(7)
发明人 ELSAYED K A M(2) MAAROUF A A(2)
公开年 2023(7)
申请年 2022(7)
专利权人 UNIV IMAM AB.(2)