国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)
C01(4)
B01(2)
B32(2) C30(2) H01(2) |
IPC小类 |
C23C(5)
C01B(4)
B32B(2)
C30B(2) H01L(2) |
IPC |
C23C016/02(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(5) |
申请年 |
2020(5)![]() |
专利权人 |
BURGGRAF J, JUERGEN B
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L
BYUN K, KIM H, PARK T, SHIN H, AHN W, LEEM M, CHO Y, JIN H, PIAO T, SHEN X, LIN M, ZHAO L, BYUN K E, KIM H S, PARK T J, SHIN H J, AHN W S, CHO Y C