国家/地区 美国(16) 世界知识产权组织(10) 中国(9) 日本(6) 韩国(6) 欧洲专利局(EPO)(5) 加拿大(4) 澳大利亚(3) 巴西(2) 德国(2) 印度(2) 台湾(2)
IPC部 B(20)
IPC大类 C23(20) C01(14) B82(13)
H01(6) B32(5) B01(4)
B05(2) C25(2) C30(2)
H05(2)
IPC小类 C23C(20)
IPC C23C016/04(20)
发明人 NAGEL C J(5) BRODEUR C L(4) FARQUHAR J J(3)
SEAH C M(3) WANG Y(2)
公开年 2021(8) 2018(3) 2013(2) 2014(2) 2017(2) 2022(2)
申请年 2020(5)  2013(3)  2021(3)  2018(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(5) FOURTE INT S.(3)