国家/地区 韩国(6) 美国(4) 中国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 B01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/06(7)
发明人
公开年 2013(3) 2014(2)
申请年 2012(3) 
专利权人 KOREA ADVANC.(2)