国家/地区 韩国(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 B01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/06(6)
发明人
公开年 2013(3) 2014(2)
申请年 2012(3) 
专利权人 KOREA ADVANC.(2)