| 国家/地区 | 中国(3) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | C(5) |
| IPC大类 |
C23(5)
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| IPC小类 |
C23C(5)
C30B(5)
C01B(2)
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| IPC |
C23C016/26(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2021(3) 2020(2) |
| 申请年 |
2020(5)
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| 专利权人 |
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
GUO L, WEI T, RAN J, WANG J
CHEN H, SU W, YEH Y, CHANG C
