国家/地区 美国(14)
IPC部 B(14)
IPC大类 C23(14) C01(12) B82(8)
H01(7) B01(6) B32(4)
G09(2)
IPC小类 C23C(14) C01B(12) B82Y(8)
B01J(6) B32B(4) H01L(4)
H01G(3)
IPC C23C016/26(14)
发明人 CHOI J(2) JUNG M(2) LEE Y(2)
MOON J(2)
公开年 2014(14)
申请年 2013(9)  2014(4) 
专利权人 EMPIRE TECHN.(2) LG ELECTRONI.(2) SAMSUNG ELEC.(2) SHENZHEN CHI.(2)