国家/地区 中国(16)
IPC部 C(16)
IPC大类 C23(16) C01(6) C03(4)
A61(3) B32(2) C04(2)
H01(2)
IPC小类 C23C(16) C01B(6) C03C(4)
A61L(2) B32B(2) C04B(2)
H01L(2)
IPC C23C016/26(16)
发明人 LIU X(16)
公开年 2017(3) 2021(3) 2015(2) 2016(2) 2018(2)
申请年 2016(5)  2020(3) 
专利权人 UNIV PEKING(5) BEIJING GRAP.(4) CORNING INC(4) SHANGHAI INS.(2)
UNIV JILIN(2)