国家/地区 澳大利亚(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9) C01(8) B01(4)
H01(4) B32(3) B82(3)
A41(2) G01(2)
IPC小类 C23C(9) C01B(8) B32B(3)
B82Y(3) A41D(2) B01D(2)
B01J(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(9)
发明人 CHOI K(2) HEIGHT M(2) PARK H(2)
PARK H G(2)
公开年 2021(4) 2017(3) 2013(2)
申请年 2016(3)  2020(2)  2021(2) 
专利权人 HEIQ MATERIA.(2) UNIV SOUTHWE.(2)