国家/地区 韩国(6) 美国(6) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7) C23(7) H01(7)
B32(4) B82(4) B01(2)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/26(7)
发明人 SHIN H J(4) CHOI J(3) CHOI J Y(3)
LEE E(3) SHIN H(3) CHOI B(2)
CHOI B L(2) LEE E K(2) WHANG D(2)
WHANG D M(2) YOON S(2) YOON S M(2)
公开年 2013(3) 2012(2)
申请年 2012(3)  2011(2) 
专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(7)