国家/地区 |
中国(29)![]() |
IPC部 |
C(29)![]() |
IPC大类 |
C23(29)
H01(11)
C01(8)
B22(4) B82(3) C09(3) G01(3) B21(2) B65(2) C08(2) C22(2) C25(2) |
IPC小类 |
C23C(29)
C01B(8)
B22F(4)
H01L(4) H01M(4) B82Y(3) B65G(2) C09D(2) C22C(2) G01N(2) H01B(2) |
IPC |
C23C016/26(29)![]() |
发明人 |
MA Y(5)
LI J(3)
WU Q(3)
SONG S(2) WANG X(2) |
公开年 |
2023(29)![]() |
申请年 | 2022(18) 2023(6) 2021(5) |
专利权人 | SUZHOU SHENG.(3) |
XU G, LIU F, WU H, AN K
KIM Y, OH S, AN S, AHN S J, OH S R, KIM Y U, AN X
LUO G, WANG G, WANG X, LI J, ZHANG B
ZHENG L, SHEN Y, ZHENG Y, WU L, WANG H
WU C, CHANG Y, MA Y, CHENG Y, AI D, YU H