国家/地区 中国(3) 韩国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) C01B(3) H01L(2)
IPC C23C016/32(5)
发明人
公开年 2021(5)
申请年 2021(4) 
专利权人