国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)![]() |
IPC小类 |
C23C(5)
H01L(4)
C01B(3)
|
IPC |
C23C016/32(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(2) |
申请年 | 2021(3) |
专利权人 |
LEE C, KIM C, LEE E, BYUN K, KIM S, SHIN H, SHIN H J, BYUN K E, LEE C S, LI C, JIN C, LI Y, JIN S, SHEN X
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SHARMA K
SHAN D, ZHOU S, TANG M, YANG R, CAO Y, QIAN S, QIU S, CHEN X