| 国家/地区 |
中国(6)
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| IPC部 | C(6) H(4) |
| IPC大类 |
C01(6)
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| IPC小类 |
C01B(6)
C23C(6)
C30B(2)
H01L(2) |
| IPC |
C23C016/32(6)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2021(2) |
| 申请年 | 2021(3) |
| 专利权人 |
LI Z, ZHANG L, TU R, XU Q, ZHANG S
JO D W, CAO D, WAN J, CHO D W
LEE C, KIM C, LEE E, BYUN K, KIM S, SHIN H, SHIN H J, BYUN K E, LEE C S, LI C, JIN C, LI Y, JIN S, SHEN X
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SHARMA K
HUANG K, CHANG C, HSIEH Y, CHIU P, MEDINA H, QIU B, XIE Y, ZHANG Z, MEDIONA H, HUANG K P, CHANG C C, HSIEH Y T, CHIU P W
