国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) C01B(3) H01L(3)
IPC C23C016/32(6)
发明人
公开年 2021(3) 2022(3)
申请年 2021(6)
专利权人