国家/地区 |
中国(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C23(6)![]() |
IPC小类 |
C23C(6)
C01B(3)
H01L(3)
|
IPC |
C23C016/32(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(3) 2022(3) |
申请年 |
2021(6)![]() |
专利权人 |
JO D W, CAO D, WAN J, CHO D W
LEE C, KIM C, LEE E, BYUN K, KIM S, SHIN H, SHIN H J, BYUN K E, LEE C S, LI C, JIN C, LI Y, JIN S, SHEN X
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SHARMA K