国家/地区 日本(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) C30B(5) H01L(5)
B82Y(2) C01B(2)
IPC C23C016/34(5)
发明人
公开年 2013(2)
申请年 2016(2) 
专利权人