国家/地区 美国(6) 中国(5) 韩国(3) 澳大利亚(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 新加坡(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(13)
IPC大类 C23(13)
IPC小类 C23C(13) G01N(7) G02B(3)
C01B(2) H01L(2) H01S(2)
IPC C23C016/44(13)
发明人
公开年 2015(3) 2013(2) 2021(2) 2022(2)
申请年 2013(4)  2015(2)  2016(2) 
专利权人

BIRIS A R, COROS M, LAZAR D M, POGACEAN F, PRUNEANU S M