国家/地区 | 美国(6) 中国(5) 韩国(3) 澳大利亚(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 新加坡(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(13)![]() |
IPC大类 |
C23(13)![]() |
IPC小类 |
C23C(13)
G01N(7)
G02B(3)
C01B(2) H01L(2) H01S(2) |
IPC |
C23C016/44(13)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2015(3) 2013(2) 2021(2) 2022(2) |
申请年 | 2013(4) 2015(2) 2016(2) |
专利权人 |
YAN H, WU J, WANG R, HAN Q, LUO B
YOON S Y, YOOK J, JAI L H, SHIM W P
ZHAO Y, WANG J, SONG X, WANG H, GAO Z, LIANG X, LI Y, LI J
LIU K, XU X, ZOU D, LIU C
SEO D H, PINEDA S, HAN Z J, OSTRIKOV K
BIRIS A R, COROS M, LAZAR D M, POGACEAN F, PRUNEANU S M