国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) C01B(2) G02B(2)
H01L(2) H01S(2)
IPC C23C016/26(6)
发明人
公开年 2015(2)
申请年 2013(2)  2015(2) 
专利权人