国家/地区 韩国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5) C01(3) H01(3)
IPC小类 C23C(5) C01B(3) H01L(2)
IPC C23C016/44(5)
发明人
公开年 2015(5)
申请年 2014(2)  2015(2) 
专利权人