国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6) C01(4) B82(2)
H01(2)
IPC小类 C23C(6) C01B(4) B82Y(2)
H01G(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(6)
发明人
公开年 2013(3) 2014(2)
申请年 2013(6)
专利权人