国家/地区 美国(6) 欧洲专利局(EPO)(4) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 中国(2) 日本(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6) C01(5) H01(2)
IPC小类 C23C(6) C01B(5) H01L(2)
IPC C23C016/455(6)
发明人
公开年 2015(6)
申请年 2015(4)  2014(2) 
专利权人