国家/地区 美国(10) 世界知识产权组织(6) 中国(4) 日本(4) 韩国(4) 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 B(10)
IPC大类 B82(10)
IPC小类 B82Y(10)
IPC C23C016/48(10)
发明人 NAGEL C J(5) BRODEUR C L(4)
公开年 2021(4) 2012(2) 2022(2)
申请年 2020(3)  2011(2)  2014(2)  2022(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(5)

HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H