国家/地区 中国(4) 美国(4)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7) C01B(5) B82Y(2)
H01L(2) H05K(2)
IPC C23C016/48(7)
发明人 BRODEUR C L(2) NAGEL C J(2)
公开年 2022(5) 2023(2)
申请年 2022(7)
专利权人 QUANTUM ELEM.(2)