国家/地区 |
美国(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C23(6)
H01(4)
C01(3)
B32(2) |
IPC小类 |
C23C(6)
C01B(3)
B32B(2)
H01L(2) |
IPC |
C23C016/50(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(5) |
申请年 |
2015(6)![]() |
专利权人 |
SULTANA M, LI M J, HESS L A
WAN S K, HEE H J, HEE H B, KIM W S, HAN J H, HONG B H
WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M
VISSER R J, JEONG S, DODABALAPUR A