国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6) H01(4) C01(3)
B32(2)
IPC小类 C23C(6) C01B(3) B32B(2)
H01L(2)
IPC C23C016/50(6)
发明人
公开年 2016(5)
申请年 2015(6)
专利权人