国家/地区 中国(6) 美国(5) 韩国(4) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 C(12)
IPC大类 C23(12)
IPC小类 C23C(12) C01B(2) H01B(2)
H01L(2)
IPC C23C016/56(12)
发明人
公开年 2017(6) 2018(6)
申请年 2017(12)
专利权人 UNIV TAIYUAN.(2)