国家/地区 日本(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 B32(7)
IPC小类 B32B(7)
IPC C23C016/26(7)
发明人
公开年 2009(2) 2012(2)
申请年 2008(2)  2009(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)