| 国家/地区 | 美国(4) 日本(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) |
| IPC部 |
C(6)
B(4)
H(3)
|
| IPC大类 |
C01(6)
C23(6)
B05(3)
H01(3) B82(2) C25(2) |
| IPC小类 |
C01B(6)
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| IPC |
C23C026/00(6)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2015(5) |
| 申请年 |
2014(6)
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| 专利权人 |
WEISSBECKER V, LEHNERT W, REIMER U, WEI SZLIG BECKER V, REINERT W
LIN X, WEI H, LIU P, ZHANG L, JIANG K, FAN S
AHN S I, KUK J K, DONG G K, HAN G J
LI A W, HUNT J H, HOWE W R
VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S, BOEHM H L M, BOEHM H, VAN DER WEIJDE D, BOHM H L M, BOHM S
HASEGAWA M, KATO R, TSUGAWA K, ISHIHARA M, OKIKAWA Y, YAMADA T
