| 国家/地区 |
美国(14)
|
| IPC部 |
B(14)
|
| IPC大类 |
C23(14)
B82(12)
C01(11)
B32(6) B05(4) H01(4) H05(4) B01(3) C09(2) |
| IPC小类 |
C23C(14)
B82Y(12)
C01B(11)
B32B(6) B05D(4) B01J(3) H01G(3) C09D(2) H05H(2) H05K(2) |
| IPC |
C23C016/00(14)
|
| 发明人 |
EDDY C R(2)
GARCES N(2)
GASKILL D K(2)
JERNIGAN G G(2) WHEELER V D(2) |
| 公开年 | 2013(6) 2012(3) 2016(2) |
| 申请年 | 2012(4) 2011(3) 2013(3) |
| 专利权人 | US SEC OF NA.(2) |
HARUTYUNYAN A, HARUTYUJAN A
COLOSIMO N G R, COLOSIMO N
CHEN M, LIN Q, WANG Y, LIN C, LIN C F, CHEN M T, WANG Y Y
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
GARCES N, WHEELER V D, GASKILL D K, EDDY C R, JERNIGAN G G
ARNOLD M S, GOPALAN P, SAFRON N S, KIM M, UNG K M
