国家/地区 美国(5) 中国(2) 日本(2) 韩国(2) 台湾(2)
IPC部 B(8)
IPC大类 C23(8)
IPC小类 C23C(8) C01B(7) B01J(5)
B82Y(3) H01L(3) C09K(2)
C30B(2)
IPC C23C016/02(8)
发明人
公开年 2016(8)
申请年 2015(4)  2016(3) 
专利权人