国家/地区 美国(5) 世界知识产权组织(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 印度(3) 日本(3) 韩国(3) 加拿大(2) 法国(2) 台湾(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) H01L(5) B82Y(4)
B01J(2) B05D(2) B22F(2)
C01B(2) C25D(2) H01M(2)
IPC H01L021/02(5)
发明人 GABEN F(2)
公开年 2021(4)
申请年 2020(5)
专利权人