国家/地区 美国(7) 韩国(5) 世界知识产权组织(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 B(10)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10)
IPC C01B031/04(8) C23C016/26(5) C01B031/02(4)
B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) B32B009/00(2)
C01B032/15(2) C01B032/18(2) C01B032/182(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2015(10)
申请年 2015(10)
专利权人 UNIV SUNGKYU.(2)