国家/地区 台湾(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B01(5) C01(5) C23(3)
B82(2) C25(2) H01(2)
IPC小类 B01J(5)
IPC C01B031/02(5) C01B031/04(5) B01J019/08(2)
B01J019/12(2) B01J037/02(2) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C23C016/02(2) C23C016/26(2)
C23C016/513(2)
发明人 MATSUMOTO T(2) MATSUMOTO TAKASHI(2)
公开年 2013(5)
申请年 2013(3) 
专利权人 TOKYO ELECTR.(2)