国家/地区 中国(13)
IPC部 B(13)
IPC大类 C23(13)
IPC小类 C23C(13) C25D(11) B82Y(5)
C01B(4) B05D(3) C25F(3)
B01J(2) B32B(2) C30B(2)
H01L(2) H01M(2)
IPC C23C028/00(13)
发明人 YANG Y(2) ZHANG H(2) ZHANG J(2)
公开年 2022(4) 2011(2) 2021(2)
申请年 2021(4)  2022(3) 
专利权人