国家/地区 |
中国(13)![]() |
IPC部 |
B(13)![]() |
IPC大类 |
C23(13)![]() |
IPC小类 |
C23C(13)
C25D(11)
B82Y(5)
C01B(4) B05D(3) C25F(3) B01J(2) B32B(2) C30B(2) H01L(2) H01M(2) |
IPC |
C23C028/00(13)![]() |
发明人 |
YANG Y(2)
ZHANG H(2)
ZHANG J(2)
|
公开年 | 2022(4) 2011(2) 2021(2) |
申请年 | 2021(4) 2022(3) |
专利权人 |
LAN S, HU P, JIANG T, BI F, LI H
WANG X, WANG L, CHEN Z, YANG Y, ZHANG J, SU C, FENG H, LI P, WU W, LUO T, ZHOU C
PAN F, WANG Y, LUO H, TANG B, LI J, CHEN X
HOU Y, ZHANG H, YANG Y, ZHANG J, GUO J
SHIVAREDDY S, BOHM S, PATOLE S, THAKUR D B, VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S