国家/地区 欧洲专利局(EPO)(9)
IPC部 B(9)
IPC大类 C23(9) C01(7) H01(6)
B82(4) C25(3) B05(2)
B21(2) B32(2) C03(2)
C30(2)
IPC小类 C23C(9) C01B(7) B82Y(4)
C25D(3) H01L(3) B05D(2)
B32B(2) C23F(2) C30B(2)
IPC C23C028/00(9)
发明人
公开年 2011(2) 2021(2)
申请年 2011(2)  2020(2) 
专利权人

ZURUTUZA E A, CENTENO P A, ALONSO R B, PESQUERA R A, ALONSO RODRIGUEZ B, CENTENO PEREZ A, ZURUTUZA ELORZA A, PESQUERA RODRIGUEZ A, AMAIA Z E, ALBA C P, BEATRIZ A R, AMAIA P R

BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J