国家/地区 |
美国(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C23(6)
C01(4)
B82(2)
H01(2) |
IPC小类 |
C23C(6)
C01B(4)
B82Y(2)
H01G(2) H01L(2) |
IPC |
C23C016/26(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) 2014(2) |
申请年 |
2013(6)![]() |
专利权人 |
BORRELLI N F, FEKETY C R, LIU X, SONG Z
OZKAN C S, OZKAN M, GUVENC A B, PAUL R K, LIN J, GHAZINEJAD M, PENCHEV M, GUO S, ZHONG J, HAYASHI K
MOON J, RHO J, PARK S, KIM T, HONG B, PARK W, JUNG M, KIM T H, ROH J
OEZYILMAZ B, NI G X, ZHENG Y, OZYILMAZ B, OEZYILMAZ B
KOBAYASHI T, SHIMIZU K, KADONO K, MIZUGUCHI Y, MURAKAMI Y, MIZUKUCHI Y, SUMINO K